濾網等級

適用灰塵粒徑(μm)

適用灰塵濃度(mg/m3)

壓力損失(mmAq)

捕集效率(%)

濾材

主要用途

初級濾網PRE FILTER

≧5

0.1~0.7

3~20

70~80(重量法)

合成纖維

外氣處理空調箱前端

中性能濾網MID FILTER

≧1

0.1~0.6

8~25

60~95(比色法)

合成纖維
玻璃纖維

高效濾網前端
循環空氣前端

準高效率網E-HEPA FILTER

≧0.3

≦0.3

15~35

≧95(0.3μm DOP)

玻璃纖維

Class 100~10000無塵室最終濾網

高效率網HEPA FILTER

≧0.3

≦0.3

25~50

≧99.97(0.3μm DOP)

玻璃纖維

Class 10~10000無塵室最終濾網

超低洩漏濾網ULPA FILTER

0.1~0.3

≦0.1

25~50

≧99.995(0.12μm DOP)

特殊玻璃纖維

Class 1~10無塵室最終濾網